可预见的超薄玻璃液晶制造技术
日本旭硝子(AGC)在“SID2014”展会上展出了厚仅0.2mm的第5代(G5)TFT阵列基板、彩色滤光片基板以及由这两种基板贴合制成的厚0.4mm、5英寸、500ppi的全高清液晶单元和面板(图1)。系采用载体玻璃技术(CarrierGlassTechnology),利用客户的生产线试制成的。
图1:AGC(旭硝子)展示载体玻璃技术(CarrierGlassTechnology)。在G5尺寸(1300mm×1100mm)、厚0.5mm的载体玻璃上贴合厚0.2mm的超薄玻璃并在实际生产线上试制而成的彩色滤光片基板(左)和TFT阵列基板(右)。另外,在两基板中间靠后位置展示的是将这2块基板贴合制成的厚0.4mm、5英寸、500ppi的液晶单元和面板。AGC在展示过程中指出,还可以处理厚0.1mm的玻璃。
旭硝子在SID2012及SID2013上,都积极展示了正在开发的载体玻璃,并一直在尝试实用化。而且此次证实不经过研磨工艺,0.4mm厚的液晶单元及面板即可实用化。
图2:康宁展出的载体玻璃基板。这是在厚0.4~0.7mm的载体玻璃上贴厚0.1mm的超薄玻璃制成的G1尺寸的基板(前面和后面)。在后面的基板前面,通过视频展示了生产线各工序的流程和剥离超薄玻璃时的情景。
美国康宁公司也在2014年年初展出了载体玻璃(图2)。关于厚度在0.1mm以下的显示器用超薄玻璃,旭硝子和康宁已在SID2011上展示了卷对卷(R2R)工艺,并对未来R2R实用化充满期待。之后曾探讨过要尽快实现超薄板玻璃,R2R技术和载体玻璃技术哪个更有效的问题。而此次则实证了可直接使用原有的液晶制造装置的载体玻璃技术的有效性。